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半導體行業(yè)過程氣體分析解決方案

方案概述

氣體純度和凈度的加持

電子特氣的品質主要取決于其純度和凈度，一旦純度或凈度不達標，輕則使下游產(chǎn)品質量不過關，重則擴散污染整條產(chǎn)品線，造成嚴重浪費。為了保證產(chǎn)品的合格率，避免經(jīng)濟損失，半導體制造商會對氣體供應商提供的氣體純度做出嚴格要求，通過使用多種氣體純化技術并實時連續(xù)監(jiān)測氣體純度，以確保輸送到制造全過程的超純氣體的質量。

雪迪龍為半導體制造商提供過程氣體分析一站式解決方案，在電子特氣進入硅晶圓制造工藝之前，就開啟連續(xù)監(jiān)測，并通過自主研發(fā)的軟件包實時分析和反饋，滿足對晶圓制造過程中各種氣體及雜質進行在線實時監(jiān)測的需求。

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